1、设备清洁：定期对电子显微镜进行清洁，包括外壳、镜筒、光学部件等。利用空调和抽湿机调整室内温度和湿度环境，使室内温度处于20℃左右，湿度保持 60％以下。值得注意的是中国南北方温度、湿度相差大，北方冬天干燥、寒冷，实验室内可不开抽湿机和空调。南方如福建等地暖和、潮湿，由于仪器运转过程中会发热，即使是冬天，电镜室内空调也需开制冷，抽湿机应一天24 小时运转，以防电镜各部件及能谱仪内部元器件锈蚀。

2、环境控制：电子显微镜的工作环境要求较高，应保持室内温度、湿度稳定，避免阳光直射和灰尘污染。还应注意避免电磁干扰和振动，确保设备的稳定运行。

3、设备维护：定期对电子显微镜进行维护，包括检查电源、电缆、接头等部件的完好性，确保设备的安全运行。定期对设备进行校准和调整，以知名度高成像质量和测量精度。

4、场发射电镜需长期保持开机状态，以确保电镜处于良好的真空状态（电镜样品室真空度一般要求在 10-4 Pa 以上，最好能达到 10-5 Pa；过渡室真空度一般要求在 10-7 Pa 以上，电子枪室真空度一般要求在 10-8Pa 以上）。如果发生停电或维修等特殊情况，来电后应尽快开机，稳定后检查各个室真空值。若停电时间过长，会导致离子泵的 U PS 蓄电池耗尽造成电子枪室真空下降过多，此时则需要烘烤镜筒和离子泵。

5、每天工作前检查机械泵 (RP)的油液面，观看其液面是否在油位刻度线的安全水平线上。若在油液面安全刻度线下，应马上添加机械泵油；若观察到机械泵窗口油呈茶色，则应马上更换机械泵油。更换泵油时，应先关机（在扫描电镜系统中，为了保护真空系统中的扩散泵，循环水冷却器需要继续工作 15min 以上才能关闭），然后开机 2～3 分钟让机械泵中的旧油震动起来，再关机，放出旧油，换上新油。