（1）电镜故障 1

故障现象：扫描电镜换样后，仪器抽真空速度很慢，需长时间等待甚至无法达到 9.53E10-5 Pa，而正常情况下 3 ～ 5 分钟样品室真空 PVG 值就可达到9.53E10-5 Pa。

原因：可能是放入的样品受潮或送样杆污染引起样品交换室发生稍微漏气。

解决方法：首先取出样品，用红外灯烘烤 5-10分钟，观察无样品时的抽真空速度。若取出样品后，抽真空速度还是很慢，那很可能是送样杆受到污染，此时可以先用无毛纸蘸少量酒精清洁送样杆，之后在送样杆表面均匀涂上真空油脂（零件号：781109736，Silicon V acuum grease）。

（2）电镜故障 2

故障现象：扫描电镜抽真空速度很慢，样品室真空 PVG 怎么都达不到 9.53E10-5 Pa,且经过上面故障 1 解决措施后还是达不到。

原因：样品交换室门上 O 形圈（O-ring）老化。

解决方法：更换 O -ring（406001880）。先用无毛纸擦拭新的 O -ring，在表面均匀涂上真空油脂，取下旧的 O-ring 并进行更换。更换后样品室真空PV G 值即可达到 9.53E10-5 Pa。

（3）电镜故障 3

故障现象：样品室真空 PV G 值正常（9.53E10 -5Pa），但电子枪真空 SIP1、过渡室真空 SIP2 下降很多，都只有 E10-6 Pa。

原因： 可能是 UPS 受到污染。

解决方法：先关机、关闭 U PS 开关，打开 UPS外罩并用脱脂棉蘸少量酒精进行擦拭，待酒精完全挥发后盖好外罩，打开 UPS 开关，最后开机，2～3小时后仪器各真空值正常。

（4）电镜故障 4

故障现象：突然断电后，重新开启电镜，软件系统弹出报警窗口 (Instrum ent conditions)，显示仪器连接失败（Instrum ent Communication Failure）。

原因：仪器程序 BUG 。

解决方法：重启仪器程序即可解决，无需重新开关电镜或计算机。

（5）电镜故障 5

故障现象：电镜开机加高压测试时，屏幕不显示图像，即出现“黑屏”现象。

原因：灯丝烧断导致不通电或屏幕显示的亮度和对比度不合适。

解决方法：首先检查电子枪灯丝晶体好坏，打开工具 (TOOL)图标，查看 Instrument conditions上Gun/PM T/V ac 状态；若 Ext.Voltage小于 8kV 时，电流可以达到通常使用的 10μA ，则可排除灯丝发生故障，此时只需调整对比度和亮度直至图像清晰；若 Ext.Voltage 显示值已达到 8kV 时，电流达不到通常使用的 10μA ，则说明灯丝晶体烧了，需要联系厂商专业维修人员进行更换。在等待维修期间，可以暂时先选用小电流（2 或 5μA ）进行测试。

（6）电镜故障 6

故障现象：电镜样品室真空 PV G 突然显示为0.00Pa，仪器机械泵停止运行。关机后重新开机，发现机械泵正常运转，但十几分钟后又停止运行，电镜样品室真空值 PV G 仍然显示为 0.00Pa。

原因：由于在机械泵正常运转后十几分钟扩散泵开始启动，因此可能是扩散泵加热片损坏引起扩散泵故障。

解决方法：关机后打开仪器送样杆下方的面板，找到扩散泵加热片，经万用表检查后发现其中一个4英寸加热器坏了，更换上新的加热片 4INCHD.PHEATER （3220000025）,重新开机后仪器正常。

（7）电镜故障 7

故障现象：在样品测试结束取样品时，送样杆到底后不能把样品台夹紧取出，同时“HOLD ”灯亮；在接连试了几次后，有时会出现送样杆到达不了底部的情况。

原因：样品室内放样品台处受到污染，增加了摩擦力；或交换室放样品台平面后的超级弹簧老化松了。

解决方法：打开样品室，取出样品台，然后用无毛纸蘸少量酒精擦拭放样品台处，重新抽好真空后故障排除。若还是取不出样品台，需更换位于交换室放样品台平面后的超级弹簧（413003833）。

（8）电镜故障 8

故障现象：循环水箱里铜管上结冰严重，循环水箱燥音较大。

原因：氟利昂制冷剂不够了。

解决方法：先用电吹风化冰，然后再找空调维修工人上门加氟利昂。

（9）电镜故障 9

故障现象：仪器在未工作状态下，突然发现高压（HT）变绿，电缆高压无法关闭，而且仪器报警窗口（Instrum ent conditions）多处显示为红色，但是经过检查，发现这些红色报警项目对应的零件工作正常。如报警提示 Check pressure of N2G as、The wire of PIG Broken,经检查仪器 N2 瓶气压输出正常，循环水管也正常。

原因：仪器控制系统电路板的保险丝熔断。

解决方法：打开仪器操作台右侧面板，找出 D4线圈组中有发生灭灯现象的电路板，关机后拆下该电路板，仔细检查保险丝，若保险丝熔断，更换保险丝后故障可排除。

（10）电镜故障 10

故障现象：能谱测试时，IN C A 软件突然弹出“point & ID ”窗口，并显示“获得脉冲宽度不够、autom ation error”，然后自动关闭 INCA 运行程序。

原因：冷却罐内液氮不够导致能谱探头过热。

解决方法：关闭能谱数据处理器开关，往冷却罐内补充液氮，5 分钟后再开启，故障可排除。