在上世纪60年代初期，石英晶体微天平开始发展，其为一种灵敏度十分高的质量检测仪器，其测量精度能够达到纳克级，高于灵敏度在微克级的电子微天平1000 倍。从理论上来说，能够测到的质量变化和单分子层或原子层的几分之一相当。石英晶体微天平通过石英晶体的压电效应，使石英晶体电极表面质量变化向着石英晶体振荡电路输出电信号的频率变化转化，从而利用计算机等其他辅助设备使得高精度的数据获得。

主要构造

数据处理、信号检测、信号收集以及石英晶体传感器为石英晶体微天平的主要组成部分。石英晶体微天平的zui为核心的构件是石英晶体传感器。石英晶体传感器的基本构造为：由一块石英晶体上沿着与石英晶体主光轴成35°15'切割(AT-CUT)使得石英晶体振荡片获得。将金层涂敷在它的两个对应面上作为电极，在两片电极中间夹石英晶体使得三明治结构形成。按照需要，还能够有选择地在金属电极上镀膜来使得其应用得到进一步的拓宽。例如，将一层具有选择性的吸附膜加在电极表面，能够用于对化学反应的进行情况进行监测或者对气体的化学成分进行探测。不同金属及金属氧/氮化物镀膜，以及合金镀层能够用来研究金属腐蚀性能和人工关节的排异反应。用来进行进行气体、液体的成分分析以及微质量的测量、薄膜厚度及粘弹性结构检测等。