扫描电镜不导电样品应该怎么选择电极种类？_仪器设备维护维修公共服务平台

扫描电镜不导电样品应该怎么选择电极种类？

文章来源：电镜维修发布时间：2024-12-13访问次数：打印

扫描电镜测试时，当入射电子束打到样品上，会在样品表面产生电荷的积累，形成充电和放电效应，影响对形貌图的观察和拍照记录。因此在观察之前要进行导电处理，喷金/铂/碳，使样品表面导电；一般拍形貌，喷金（Au、Pt）清晰度更好，Au颗粒是5nm左右，Pt是2nm左右，理论上Pt尺寸小，对形貌的影响更小，更合适一些；但是由于Au和Pt的峰可能会对其他元素的能谱有影响，而碳的结合能比较低，基本无影响，如存在与Au和 Pt峰重叠的元素存在，这时喷碳更合适，测试时可针对样品成分区别进行选择。