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扫描电镜不导电样品应该怎么选择电极种类?

文章来源:电镜维修发布时间:2024-12-13访问次数:11打印
扫描电镜测试时,当入射电子束打到样品上,会在样品表面产生电荷的积累,形成充电和放电效应,影响对形貌图的观察和拍照记录。因此在观察之前要进行导电处理,喷金/铂/碳,使样品表面导电;一般拍形貌,喷金(Au、Pt)清晰度更好,Au颗粒是5nm左右,Pt是2nm左右,理论上Pt尺寸小,对形貌的影响更小,更合适一些;但是由于Au和Pt的峰可能会对其他元素的能谱有影响,而碳的结合能比较低,基本无影响,如存在与Au和 Pt峰重叠的元素存在,这时喷碳更合适,测试时可针对样品成分区别进行选择。