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电子显微镜(扫描电镜)维修维护看这里就够了!

文章来源:电镜维修发布时间:2024-12-13访问次数:打印
场发射扫描<a href=https://www.kyyqwx.com/jishu/7501.html target=_blank class=infotextkey>电子显微镜</a>
图:场发射扫描电子显微镜
    扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。

    电子显微镜的特点
制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。

电子显微镜的基本结构
从结构上看,如图所示,扫描电镜主要由七大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统;其中最重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理和显示系统以及真空系统。

图:扫描电子显微镜结构图

关于电子显微镜相关知识点的内容如下(持续更新中):
1、电子显微镜的日常维护保养
2、电子显微镜的常见的故障现象及处理办法
3、关于电子显微镜的46个常见问题及解答
4、电子显微镜的基本原理是什么?
5、蔡司扫描电镜的操作技巧与维护保养指南

电子显微镜的维修维保:
科研仪器维修维保平台可以提供电子显微镜核心部件,从电子发射源全系列产品到FIB聚焦离子束的离子源等,产品规格多样,可完全兼容市场上的进口产品;从材料到成品都实现自主可控,并已实现规模化量产。
液态金属离子源:液态金属离子源使用高纯度镓作为离子发射源,将液态金属镓灌入尖端的漏斗状结构在拉出极高压的作用下形成镓离子束。应用于聚焦离子束设备(FIB),例如:Helios 、Scios 、Quanta 、Strata400、Crossbeam 系列等。
肖特基场发射电子源:用于 SEM 的肖特基热场发射源替代品,兼容FEG、SFEG、Sirion、GEMINI 等型号电子枪,出厂时已做好预对中,经过大量客户实际装机测试,电子束的亮度和稳定性与进口产品相当,使用寿命在相同工况下已经高于国外厂家标称使用时间。
离子源拉出极:拉出极电极,拉出极是聚焦离子束加载拉出极高压的电极,用于将液态金属镓离子化,形成离子束。应用于聚焦离子束设备(FIB),例如:Helios 、Scios 、Quanta 、Strata400、Crossbeam 系列等。
离子源抑制极:抑制极极电极,抑制极是聚焦离子束加抑制极电压的电极,与拉出极配合,可对聚焦离子束的发射电流进行调节。应用于聚焦离子束设备(FIB),例如:Helios 、Scios 、Quanta 、Strata400、Crossbeam 系列等。
钨灯丝电子源:钨丝相对便宜且易于维护,无需持续的外部维护。然而,就像灯泡灯丝一样,它们会逐渐因蒸发而失去质量并最终断裂,它们在所有光源中具有最短的寿命。
光阑条:光阑条是一个条状薄片上有多个不同孔径的圆孔,通过不同的孔径限制离子束的电流强度。以实现不同离子束电流间的切换。由于离子溅射,孔径尺寸会随着时间的推移而增加。应用于聚焦离子束设备(FIB),例如:Helios 、Scios 、Quanta 、Strata400、Crossbeam 系列等。

 
电子显微镜的维修维保流程

电子显微镜的维修保障